MEMS 传感器是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。它具有体积小、质量轻、成本低、功耗低、可靠性高、技术附加值高，适于批量化生产、易于集成和实现智能化等特点。MEMS气体传感器9.MEMS气体传感器【所属领域】核心电子元器件【中央企业名称】中国兵器工业集团有限公司【成果简介】MEMS气体传感器适用于室内空气质量监测、手机、电脑等消费类
＞﹏＜ MEMS传感器的概念-MEMS全称为微型电子机械系统(Micro-Electro-MechanicalSystem),是在微电子技术(半导体制造技术)基础上发展起来，融合了微电子加工工艺和精密机械加工等技术制作的MEMS传感器是一种微型电子机械系统（Micro-Electro-Mechanical Systems）传感器，它利用微纳技术将传感器和微机电系统集成在一起。MEMS传感器通常由微型机械结构、感应电路和信号处
MEMS传感器即微机电系统（Microelectro Mechanical Systems），是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的谈到MEMS传感器，如果使用MEMS技术设计和制造传感器，则称其为微机械微传感器或简称为MEMS传感器。比如，手势控制机器人就包含一个3轴加速度计，一个3轴陀螺仪和一个数字运动处理器。
2.MEMS加速度计3.MEMS陀螺仪4.MEMS压力传感器5.MEMS磁场传感器四、MEMS传感器的优点1.MEMS的制造就像低成本大规模生产一样，是半导体IC的制造，并且一致性对于MEMS器件也必不可MEMS的全称是微型电子机械系统(Micro-ElectroMechanical System),微机电系统是指可批量制作的，将微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等
